Spectromètre de masse (RGA et SIMS)

Deux spectromètres de masse d'Hiden analytical (HPR-30 et EQP100) sont disponibles pour l'analyse des gaz résiduels de procédés sous vide.

Le spectromètre de masse RGA (HPR-30) permet d’analyser les gaz résiduels de procédés sous vide avec une capacité d'échantillonnage allant du vide poussé 10^-7 mbar à 4.10^-1 mbar grâce à une sonde entrante, un orifice d’échantillonnage remplaçable par l’utilisateur (diamètre 20, 200 et 750 µm) et une vanne pneumatique. Le système peut être utilisé pour analyser des procédés tels que CVD, ALD, gravure au plasma, MOCVD. Il permet de mesurer des masses allant de 1 à 200 amu grâce à deux détecteurs : Faraday et SEM.

Le spectromètre de masse RGA / SIMS (EQP1000) permet d’analyser les gaz résiduels de procédés sous vide et notamment des plasmas pour des vides inférieurs à 10^-6 mbar grâce à deux détecteurs d'ions (Faraday et SEM). Le système peut être utilisé pour analyser des procédés plasma notamment PVD et HiPIMS. Il existe quatre modes d'analyse : SIMS+ pour la détection des ions positifs, SIMS- pour la détection des ions négatifs, RGA+ pour la détection des neutres, RGA- pour la détection des neutres par attachement électronique. L'EQP possède deux options permettant d'analyse des espèces jusqu'à une énergie de 1000eV notamment dans un champ magnétique (jusqu'à 500 Gauss).