Microsonde électronique

La Microsonde électronique (EPMA) est un instrument d’analyse micrométrique largement utilisé pour la caractérisation à petite échelle des matériaux. Elle permet, via l’utilisation des interactions électrons-matière, de déterminer la composition chimique (du B à l’U) des matériaux solides au niveau du µm3.

L’échantillon observé est bombardé par un faisceau d’électrons ce qui donne lieu à l’émission de rayons X de différentes énergies caractéristiques des éléments qui le composent. L'analyse du spectre des rayons X ainsi produits permet de déterminer la nature des éléments présents dans l'échantillon (analyse qualitative) et leurs concentrations (analyse quantitative).

La Microsonde JEOL IHP-200F est équipée d’une source d’électrons de type Schottky (haute résolution), de 5 spectromètres à dispersion de longueur d'onde (WDS), d’un spectromètre à dispersion d'énergie (EDS) et d’un spectromètre de cathodoluminescence hyperspectrale.

La Microsonde JEOL IHP-200F dispose également:

- d’un spectromètre WDS équipé d’un cristal multicouche large de 2d = 60Å, pour l’analyse des éléments suivants : azote, oxygène, fluor avec une précision statistique importante ;

- d’un système d’acquisition et de traitement par cathodoluminescence spectrale ayant une gamme spectrale allant de 200 à 900 nm ;

- d’un logiciel (Probesoftware) permettant la modélisation graphique du fond continu, une méthode itérative avancée pour la correction des interférences en WDS (pour l’analyse des éléments-trace), l’analyse des éléments légers incluant l’analyse par la méthode « area peakfactors » et l’analyse d’échantillons stratifiés.

La technique de microanalyse via EPMA est utilisée dans divers domaines, notamment pour la caractérisation de microstructures pour l’identification des phases observées à travers l’imagerie BSE.

Elle permet de multiples applications pour la caractérisation chimique des matériaux tels que les métaux, les alliages, les aciers, les céramiques, les verres, les minéraux, les revêtements, les précipités.