Microscope électronique à balayage

Le Microscope électronique à balayage à effet de champ permet de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon en utilisant un faisceau d’électrons. Il associe une résolution sub-nanométrique en imagerie (2nm à distance analytique) et des capacités d’analyses chimique élémentaire par spectroscopie à dispersion d’énergie. Il permet d’effectuer des observations de matériaux d’origine diverse (biologique, géologique…) par contraste topographie, chimique et cristallographique de microstructures complexes.  

Il dispose pour cela d’un ensemble de détecteurs d’électrons secondaires et rétrodiffusés dans la chambre et dans la colonne permettant un fonctionnement sur une large gamme de tension d’accélération (0,1kV-20kV) sous vide ou en pression contrôlée.

Le MEB JEOL - IT800SHL est équipé :

- d’une grande chambre pour l’accueil d’échantillons allant jusqu’à 200mm de diamètre et 60mm de haut

- d’un système de spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) - Oxford

- d’un système de diffraction électronique rétrodiffusée (EBSD) - Oxford

Cet instrument est doté d’un module additionnel de cryo-préparation (Quorum) qui permetl'observation d’échantillons biologiques, humides ou sensibles au faisceau sans avoir besoin de recourir aux méthodes de préparation conventionnelles. Il permet ainsi l'observation des échantillons dans leur état hydraté naturel.

Matériaux composites, métaux, alliages, polymères, roches, matériaux biologiques, végétaux, céramiques, verres, échantillons géologiques, matériaux anciens et objets du patrimoine.