Microscope à balayage à double faisceau (colonne électronique et colonne ionique focalisée (FIB))

Le MEB-FIB (Crossbeam) est un microscope électronique à balayage haute résolution couplé à une colonne ionique et à un système d’ablation laser, pouvant opérer sous vide poussé ou à pression contrôlée. Il est équipé en outre d’un système couplé de micro-analyse EDS/EBSD. En associant un laser, un faisceau ionique focalisé et un système d’injection de gaz (Pt, C), cet instrument assure la préparation avancée de lames TEM, la nano-tomographie 3D, l’analyse structurale et compositionnelle 3D, et la nano-fabrication.

Le canon à électrons est constitué d’une pointe FEG de type Schottky pouvant générer un courant de sonde de 3 pA à 40 nA, sur une gamme de tension d’accélération allant de 0.02 à 30 kV, pour une résolution <2 nm.

La colonne ionique « Ion Sculptor » à source de Ga liquide offre une plage de courant de sonde de 1 pA à 100 nA, pour une gamme de tension d’accélération des ions de 0.5 à 30 kV.

Les équipements complémentaires comprennent :

• Une platine super-eucentrique à 6 axes motorisés (6ème axe Z’ orthogonal au plan de tilt)
• Une grande chambre de diamètre 330 mm et de hauteur 270 mm
• Un sas d’introduction 80 mm sur lequel est adapté le laser femtoseconde
• Un système d’injection de gaz de Pt et C
• Un micro-manipulateur
• Un détecteur d’électrons secondaires et d’ions secondaires (SESI)
• Un détecteur in-lens SE et un détecteur in-lens BSE (rétrodiffusés)
• Un détecteur BSE multi-secteurs en chambre
• Un détecteur annulaire STEM
• Deux caméras IR en chambre
• Un détecteur EDS Oxford (SDD Ultim Max 170 mm2)
• Une caméra EBSD Oxford (HKL Advanced Symmetry S2)
• Logiciels AUTOPREP et ZEN TEM PREP pour la préparation de lames TEM
• Logiciel Atlas pour la 3D nano-tomographie et 3D EDS/EBSD

Tous types d’échantillons solides, même non-conducteurs ou magnétiques.