Détecteur EDS

Le détecteur EDS, rattaché au MEB-FEG, permet d’obtenir la composition chimique d’un échantillon.

C’est une méthode qualitative et semi quantitative. En effet, la technique EDS utilise le fait que lorsqu’un électron va percuter un électron d’une couche interne d’un échantillon, celui-ci va être éjecter, laissant alors une lacune électronique. Pour la combler, un électron d’une couche électronique d’énergie supérieure va se désexciter pour prendre sa place. Pour se désexciter, l’électron va émettre un photon d’énergie X. Cette valeur d’énergie entre les couches électronique est propre à chaque atome. De cette façon, lorsque le détecteur EDS détecte ce photon, il sera capable de reconnaitre de quel atome il s’agit et il sera possible de remonter à la composition de l’échantillon.

Il est possible de réaliser une cartographie EDS sur toute une zone de l’échantillon ou un spectre EDS sur un point sur l’échantillon.

De même que pour les échantillons à passer au MEB-FEG, les échantillons doivent être massif et conducteur. La surface d’analyse doit être la plus plane possible pour une meilleur fiabilité d’analyse.